2021年7月30日(金)

【特集】半導体産業 14社の注目製品

目次
PART01:エヌティーツール「タップ時の負荷を軽減」
PART02:オーエスジー「穴あけ+ねじ切り同時加工」
PART03:オークマ「大型化に強力・高精度対応」
PART04:オムロン「通信内蔵で安全機能対応」
PART05:加茂精工「バックラッシなくスムーズ」
PART06:協育歯車工業「個別対応など柔軟に対応」
PART07:嵯峨電機工業「調光で凹凸、傷見逃さない」
PART08:サンドビック「汎用性・高精度を両立」
PART09:日研工作所「脆性材・極小径加工に威力」
PART10:ハイウィン「ナノ精度の位置決めを実現」
PART11:フクハラ「電気代を大幅に削減」
PART12:冨士精密 「ボルトのゆるみを解決」
PART13:三菱マテリアル「安定した高能率加工が可能」
PART14:山勝商会「高精度・高能率を実現」

PART01

エヌティーツール「タップ時の負荷を軽減」

シンクロフィットⅡシリーズ 小径タップ加工用SMH8型

小径タップ加工において、突発的に発生するタップの折損は歩留まり悪化や刃具コスト増の原因となりユーザーの悩みの種だ。同製品はタップにかかる負荷を軽減し、本来の寿命を発揮させることで突発折損を抑制し、歩留まり改善や工具費の軽減を目的に開発した。

主な特長は独自の弾性体一体構造を採用し、タップにかかるスラスト荷重を最大で5分の1に軽減することで、タップの突発折損を抑制し、常にタップ本来の寿命を発揮させる。さらに樹脂やゴム製ダンパを用いていないため、メンテナンスフリーで使用も可能。

対応シャンクはBT、AHO、HSK・A、ST、対応タップサイズはM1~3.5(M3~M12 に対応するSMH16 型、M9~M20 に対応するSMH32型もラインアップ)。

PART02

オーエスジー「穴あけ+ねじ切り同時加工」

非鉄用底刃付き高能率スレッドミル「AT-2 R-SPEC」

AT-2 R-SPEC(TheradRacer:スレッドレーサー)」は、ヘリカル穴あけ+ねじ切りの同時加工でアルミニウム合金などの非鉄金属における加工時間を劇的に削減する。また、位置精度が不安定で抜き勾配のある鋳抜き穴での加工位置ズレ対策にも有効。

表面処理に「DLC-IGUSS(アイグス) コーティング」を採用。表面の平滑さと極めて低い摩擦係数により、耐溶着性や潤滑性が求められるアルミニウム合金などの非鉄金属の加工に抜群の威力を発揮する。厚膜タイプのDLCコーティングのため、刃先の摩耗を抑制し、長時間安定した加工精度が得られる。

下穴がある場合は、切りくず細分化とDLC コーティングの溶着抑制効果によりエアブローでの加工も可能。

PART03

オークマ「大型化に強力・高精度対応」

立形マシニングセンタ「MB-80V」

テーブルサイズ1600㎜×800㎜、最大積載重量2500㎏、クラス最大のY軸ストローク1050㎜を備え、半導体製造装置や大型自動車金型の加工に余裕で対応。

門形構造による強力加工、高精度加工が特長で、経時熱変位量8㎛ (実績値)に抑える高い寸法安定性を発揮する。

50 番主軸では重切削量669㎤/分(S45C)と従来機比33 %向上。金型の荒加工時間を短縮し、高面品位仕上げ加工を1台で完結する。一般機械部品向けの40 番主軸、アルミ加工向けの40番高速主軸、金型の荒・仕上げ完結加工を実現する強力主軸など幅広くラインナップ。高い切粉処理能力と予防保全機能により長時間の無人運転を支援。AI技術を活用した予知保全技術により故障の予兆を検知、マシンダウンを未然に防止する。

PART04

オムロン「通信内蔵で安全機能対応」

ACサーボシステム1Sリーズ「EtherCAT ®」

本製品は、半導体業界のスループット向上・省フットプリント化と、安全性の確保を両立する。

国際安全規格ISO1 3849-1に準拠し、“動力維持して停止”“安全速度で動作”をサーボシステムで実現。8種類のモーション安全機能を自由に選択できる。

ドライバ-モータ間は脱着式コネクタ付きケーブル11本で接続可能。

また、プログラム設計段階では、一つのツールで標準制御と安全制御を統一的に作成できる。装置完成前に、オフラインでのデバッグが可能となる。これによりプログラム設計とデバッグ工数を大幅に削減する。AC200VとAC400Vを用意。モータ容量は。200W~3k W。詳細は、こちらから

PART05

加茂精工「バックラッシなくスムーズ」

TCGカムラック/カムリング&ローラピニオン

開発コンセプトは歯車を使用した直線・回転機構におけるバックラッシを無くすことを目的に、従来のラック&ピニオンや歯車機構に代わる新発想の直線・回転システムを開発すること。

同製品の特長として、トロコイド曲線を採用した歯形状及びローラピンのかみ合いは転がり接触となっており、かみ合い部に予圧を加え、バックラッシ(ガタ)を消した状態においてもスムーズな運動特性を持っている。

また、転がりの接触は金属接触における摩耗・発熱を抑え、低摩耗・低発塵・低騒音といった特長があり、さらに、TCGシリーズは初回グリース塗布のみで定格寿命まで給油不要で使用することができ、半導体などクリーンルーム内でも使用することが可能だ。

PART06

協育歯車工業「個別対応など柔軟に対応」

小型歯車や精密ギヤBOX

需要が急拡大している半導体製造装置を中心に、協働ロボット、医療機器、精密機器、食品機械などの設計・開発において、機械要素部品の小型化、軽量化が加速している。加えて、部品そのものの多機能化、デザイン性などの要求は高度化している。

協育歯車工業では、得意とする小型の精密歯車や、小型の精密ギヤBOXでこうしたニーズに柔軟に対応する。小型精密歯車では、m0.2より検討するほか、小型精密ギヤBOXなどによって、半導体製造装置内の限られたスペースの有効活用を提案する。

同社では「要望によっては個別にも対応もするので、歯車仕様、環境対応の素材などについて、是非問い合わせ頂きたい」としている。

PART07

嵯峨電機工業「調光で凹凸、傷見逃さない」

高演色LED調光機能付きストロングライト「SL-LED20D-FL-Ra」

塗装面などの表面の検査に色調や色の確認に見えない傷が見える。

特長①光に紛れて見えにくかった傷や凹凸の視認性を強い光により向上させ、目視による簡易検査の作業効率を高めた。②調光機能付きは電源スイッチを15% ~ 100%の調光ボリュームに変え、検査内容に光出力を合わせることでより効率的に目視検査ができる。電源AC100V、LED出力最大20 W、電源コード長5m。③オプションに位置固定用マグネット、スタンドや油垂れを見る拡散フード、光色を変えるカラーフィルターも用意している…など。

「故障した製品の修理や修理用パーツの受注、出荷も承っております。使用感の確認のためにデモ品の貸し出しもしていますので製品にご興味をお持ちの方はぜひお問い合わせください」(尾曽秀幸社長)。

PART08

サンドビック「汎用性・高精度を両立」

超硬ソリッドドリル「CoroDrill860-GM」

超硬ソリッドドリルの「CoroDeill860-GM」は汎用性と高精度を両立させた新しいコンセプトのドリルで、幅広い被削材に対応する。主な特長は①従来ドリルを凌駕するため、低抵抗で食い付き時の振れを大きく低減した新しいシンニング形状を採用し、微小チッピングと切削抵抗を大きく抑制。② 幅広い加工条件に対応するため、強化したコーナー形状とフルートの外周部を強化したダブルマージンを採用、高精度な穴品位を実現し抜け際のバリも抑制。③超微粒子母材とPVD多層コーティングを備えた材種「X1BM」を新たに採用。フルート部をポリッシュ加工し、良好な切りくず処理と加工時の工具の安定性が増したことで、炭素鋼、ステンレス鋼、鋳鉄、アルミ合金、チタンなど耐熱合金、高硬度鋼など、あらゆる被削材の生産性向上、安定した工具寿命を実現。

PART09

日研工作所「脆性材・極小径加工に威力」

脆性材用ツーリング技術

半導体増産が求められる中、脆性材加工に貢献できる3つの新しいツーリング技術。

「ゼロフィットホルダ」は振れ精度の安定化により不良を低減し歩留まりを大幅アップ。「ジェットクーラントソリューション」は、主軸2万回転でもクーラントが飛散せず確実な冷却を行い高価な刃物を守る。「黒のホルダ」は黒錆により赤錆を制する独自の防錆技術でツーリングを錆から守る。

これらを組み合わせて使用する事で、ダイヤモンド電着による脆性材加工や極小径ドリル加工などにおいて、振れ精度の安定化や確実な刃先冷却により刃物の破損を大幅に減少させ、歩留まりも大幅アップ。量産効果を発揮しコストダウンにも大きく貢献する。これらの技術は動画配信やリモート勉強会などで幅広く紹介していく。

PART10

ハイウィン「ナノ精度の位置決めを実現」

ナノ精度超精密ステージ「ダイアモンド」シリーズ

高度化する半導体製造やFPD製造のニーズに応え、ナノ精度を誇る次世代の超精密位置決めステージを開発し、作業効率や工数最適化に貢献。

 主な特長は真空予圧式エアベアリングを採用し、部品摩耗率を大幅に削減。エアベアリングの空気摩耗も大幅に抑え、超低発塵性を実現し、クリーン環境クラス10 (米国連邦規格)でも使用可能だ。架台を揺らさない独自のカウンターバランスと誤差補正技術で、ナノ精度の位置決めに不可欠な優れた整定性能を誇るほか、EtherCATなど様々な通信ネットワークにも対応。また、応答周波数向上や整定時間短縮、電力及び空気消費量の削減で作業効率も飛躍的に向上。同製品は台湾エクセレンス賞金賞受賞や世界有数の半導体製造装置メーカーの採用実績など好評を得ている。

PAER11

フクハラ「電気代を大幅に削減」

高性能オイルミスト吸着捕捉装置「オイル・バスター」

圧縮空気の油分濃度をオイルフリーコンプレッサ同等品質にする高性能オイルミスト吸着捕捉装置。公認検査機関の分析では、n‐ヘキサン抽出物質方式およびガスクロマトグラフィー質量分析(GC/MS)方式(JISB8392)で0.0005wtppm以下と、「クラスゼロ」相当の圧縮空気を作れることを実証している。

除油性能が持続する期間は約2年。給油式コンプレッサと「オイル・バスター」を合わせて使用すれば、オイルフリー式に比べて、年間6000 時間稼働した場合、電気代が約38 万円~400万円(目安)削減できる。

「オイルミストフィルタを複数個取り付けてもオイルミストを除去できない企業様、オイルフリーコンプレッサの導入を考えている企業様、ぜひご検討下さい」(関係者)。

PART12

冨士精密 「ボルトのゆるみを解決」

「FINE U-NUT」

同社の「U-NUT」「FINE U-NUT」は、ゆるみ止めナットの代名詞として半導体製造装置・産業機械・バイク・土木・建築など幅広い分野で活躍している。プリベリングトルクタイプで特殊な工具も必要なく、ゆるみ止め性能に優れ、締結機能・脱落防止・再使用性・コスト削減に貢献。これまでボルト・ナットのゆるみに関する多くの課題を解決してきた。

さらに、ユーザーのニーズに応えるため、様々な角度から必要な安全性を検証する試験機や測定器を揃え、各種試験を実施している。また、耐食性のあるSUS316L・SUS329J4L・チタンほか、軽量のアルミニウムといった特殊材質や特殊形状に対応したゆるみ止めナットも製作するなど、半導体製造装置メーカーの様々なニーズに応えている。

PART13

三菱マテリアル「安定した高能率加工が可能」

高能率アルミニウム合金加工用エンドミル「Alimaster」

アルミニウム合金は広範囲の部品で使用されており、ブロックから削り出す高能率加工が求められる。「ALimaster」は高能率加工でも切りくずが詰まらない刃先形状と切れ味、剛性を持った工具を目指して開発された。

中心切れ刃は切れ刃の稜線部を鈍角にし、中心の強度を向上させた。縦突き加工などでのカケを防ぎ、安定加工を実現する。また、刃形は制振形状(微小マージン)を採用。バニッシュ効果によって良好な壁面を実現する。

切りくず排出性も向上させた。最適化した断面形状とねじれ穴クーラントホールによって、突込み・溝・ランピング加工でも安定した高能率加工を可能にする。加えて、ねじれ穴の採用によって、再研削後も安定したクーラント供給を維持できる。

PART14

山勝商会「高精度・高能率を実現」

「PCDドリル DSD-1及び2(協和精工製)」

開発コンセプトは非鉄金属やセラミックスなどを想定し、高精度・高能率加工を実現することで、ドリル刃先部にダイヤ焼結体であるPCDを採用したドリルシリーズ。

主な特長はPCDドリルの刃先部にスパイラル構造を採用し、抜群の切削性能を発揮する。非鉄金属やセラミックス、石英ガラスといった難削材に対し有効で、DSD-1(1枚刃ドリル)は高精度重視、DSD-2 (2枚刃ドリル)は高寿命・高能率加工重視で設計されている。

ラインアップは、1枚刃ドリルでφ0.5㎜~ φ3㎜まで0.1㎜トビ全26 アイテム、2枚刃ドリルはφ0.3㎜~φ3 ㎜まで0.1㎜トビ全28 アイテムでサイズ化し、在庫を揃えている。シャンクはすべてφ4㎜。

日本産機新聞 2021年7月5日

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