アライメントステージ「SAシリーズ」

日本トムソンはこのほど、アライメントステージ「SAシリーズ」の200サイズにX軸テーブルを新たに追加した。合わせて、θ軸のトルクアップした改良モデルの販売も開始した。多様な装置に採用できるほか、省エネやタクトタイム短縮など生産効率化に貢献する。

SAシリーズは、直動案内部に小形のリニアウェイL、回転内部にクロスローラベアリング、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用したアライメントステージ。低い断面でコンパクトにXYθ運動を可能にする。コンパクトなボディと高い位置決め精度で、ディスプレイ製造装置やレーザー加工機などのアライメント機構などに広く採用されている。

200サイズに追加したX軸テーブルによってバリエーションが豊富になり、多様な装置のアライメント機構や位置決め機構に対応する。また、トルクアップしたθ軸テーブルでは省電力化とタクトタイム短縮を実現。消費電力では従来比42%減、タクトタイムでは27%削減するなど、組み込み装置の生産効率化につながる。

日本産機新聞　2022年8月20日