半導体や医療分野開拓

牧野フライス製作所はこのほど、フェムト秒レーザ加工機「ルミナイザーLF400」を市場投入した。極めて短い照射時間のレーザを活用することで、切削や放電加工では難しい硬脆材や微小形状の加工が可能。半導体や医療関連業界に拡販する。初年度は年間10台の販売を目指す。

フェムト秒レーザは、フェムト（1000兆分の1）秒という極めて照射時間が短い超短パルスレーザ。一般的なナノ秒レーザに比べ、熱拡散を低減でき、変質層やクラックを発生させないため、微小形状を高品質に加工できる。

LF1400は、レーザ光を制御するガルバノスキャナには2軸、5軸仕様をラインアップ。ワークサイズを幅450㎜×奥行450㎜×高さ200㎜とし、12インチのウエハーサイズに対応できる大きさにした。

レーザ加工に適した光学機器のレイアウトを採用。マシニングセンタで培った位置決め技術の活用で、高精度に安定した加工ができる。また、直観的な操作ができるパネルを採用した。価格は発信器とガルバノスキャナの組み合わせによって異なるが、1億円以上を想定している。

同社は20年、ウォータージェット方式のレーザ加工機「ルミナイザーLBシリーズ」を発表し、レーザ加工分野に本格参入した。今回フェムト秒レーザをシリーズに加えることで、数年後に年間100台の販売を目指す。

日本産機新聞　2022年8月5日