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東京精密 非接触3次元表面粗さ・形状測定機に大型タイプを追加
東京精密（東京都八王子市、042-642-1701）はこのほど、非接触三次元表面粗さ・形状測定機「Opt‐scopeシリーズ」に大型タイプ「Rex」を追加した。XYステージの駆動範囲が400~600㎜角となり、半導体や金型、半導体製造装置部品など大きいワークサイズの測定にも対応できる。
「Opt‐scopeシリーズ」は、ナノレベルの表面性状を測定できる三次元白色干渉顕微鏡。垂直分解能は0・01nm（ナノメートル）と高く、低倍率のレンズにより広範囲を1ショットで測れるため、高速で測定できる。
これまではXYステージの駆動範囲が25㎜角と50㎜角で選べる標準タイプの「R」、200㎜角まで対応する「R200」の2種類を揃えていた。ラインアップに追加した「Rex」は400㎜から最大600㎜まで拡張することができる。最大ワーク積載質量は30㎏まで対応する。
日本産機新聞 2021年9月20日
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人手不足や高齢化に商機 2025年の国内経済は自動車産業の回復の遅れや半導体市場の低迷などで厳しい局面が続いた。その中、製造現場は人手不足・技術者の高齢化が大きな課題となっており、現場の自動化/省人化、環境改善、技能伝承 […]
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