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東京精密 非接触3次元表面粗さ・形状測定機に大型タイプを追加
東京精密（東京都八王子市、042-642-1701）はこのほど、非接触三次元表面粗さ・形状測定機「Opt‐scopeシリーズ」に大型タイプ「Rex」を追加した。XYステージの駆動範囲が400~600㎜角となり、半導体や金型、半導体製造装置部品など大きいワークサイズの測定にも対応できる。
「Opt‐scopeシリーズ」は、ナノレベルの表面性状を測定できる三次元白色干渉顕微鏡。垂直分解能は0・01nm（ナノメートル）と高く、低倍率のレンズにより広範囲を1ショットで測れるため、高速で測定できる。
これまではXYステージの駆動範囲が25㎜角と50㎜角で選べる標準タイプの「R」、200㎜角まで対応する「R200」の2種類を揃えていた。ラインアップに追加した「Rex」は400㎜から最大600㎜まで拡張することができる。最大ワーク積載質量は30㎏まで対応する。
日本産機新聞 2021年9月20日
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芝浦機械は5月18日、アメリカの研削盤メーカー「ムーア・ナノテクノロジー・システムズ」を買収すると発表した。超精密加工分野を強化するとともに、北米市場の開拓につなげる。 アメリカの100%子会社を通じ、ムーア社の全株式を […]
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