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東京精密 非接触3次元表面粗さ・形状測定機に大型タイプを追加
東京精密（東京都八王子市、042-642-1701）はこのほど、非接触三次元表面粗さ・形状測定機「Opt‐scopeシリーズ」に大型タイプ「Rex」を追加した。XYステージの駆動範囲が400~600㎜角となり、半導体や金型、半導体製造装置部品など大きいワークサイズの測定にも対応できる。
「Opt‐scopeシリーズ」は、ナノレベルの表面性状を測定できる三次元白色干渉顕微鏡。垂直分解能は0・01nm（ナノメートル）と高く、低倍率のレンズにより広範囲を1ショットで測れるため、高速で測定できる。
これまではXYステージの駆動範囲が25㎜角と50㎜角で選べる標準タイプの「R」、200㎜角まで対応する「R200」の2種類を揃えていた。ラインアップに追加した「Rex」は400㎜から最大600㎜まで拡張することができる。最大ワーク積載質量は30㎏まで対応する。
日本産機新聞 2021年9月20日
山善の関西地区主要販売店が主催する「2026大阪どてらい市」が、7月9日から7月11日の3日間、『現場の「困った」を「なるほど」に!』をテーマに、インテックス大阪6号館（大阪市住之江区）で開催された。 開幕に先立ち開会式 […]
相互の理解を深める好機 入社以来40年にわたり、工場の自動化に携わってきた生産技術者にエンジニアリング会社を選ぶ際の極意を聞いた。「自社でどうしていいか分からない難しい技術を相談した際に『（前向きに検討していてもできるか […]
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