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ミツトヨ
3次元測定レーザプローブのハイエンドモデル
ミツトヨはこのほど、三次元測定機用レーザプローブ「SurfaceMeasure」に最高精度モデル「201FS」を追加した。半導体レーザを搭載し、スキャニング誤差は1.8μmを達成。小物や、高精度部品の測定に適している。
レーザ照射方式には、フライングスポット式を採用。従来のラインレーザ式のスキャニング誤差12~18μmから大幅に測定精度を向上させた。多重反射に強く、光沢物でも測定できるほか、エッジ部でも高い形状再現性を実現する。
測定幅は最大23㎜、測定深さは15㎜。同社が現在販売している三次元測定機シリーズに搭載可能。同社は、「高精度に形状全体を面として評価できるため、測定時間の短縮が図れるほか、リバースエンジニアリングなどにも活用できる」としている。
日本産機新聞 平成29年(2017年)5月15日号
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