東京精密 非接触3次元表面粗さ・形状測定機に大型タイプを追加

東京精密（東京都八王子市、042-642-1701）はこのほど、非接触三次元表面粗さ・形状測定機「Opt‐scopeシリーズ」に大型タイプ「Rex」を追加した。XYステージの駆動範囲が400~600㎜角となり、半導体や金型、半導体製造装置部品など大きいワークサイズの測定にも対応できる。

「Opt‐scopeシリーズ」は、ナノレベルの表面性状を測定できる三次元白色干渉顕微鏡。垂直分解能は0・01nm（ナノメートル）と高く、低倍率のレンズにより広範囲を1ショットで測れるため、高速で測定できる。

これまではXYステージの駆動範囲が25㎜角と50㎜角で選べる標準タイプの「R」、200㎜角まで対応する「R200」の2種類を揃えていた。ラインアップに追加した「Rex」は400㎜から最大600㎜まで拡張することができる。最大ワーク積載質量は30㎏まで対応する。

日本産機新聞　2021年9月20日