半導体製造装置の部品メーカーが生産力を高めるため設備投資を強化している。増産を計画している装置メーカーの要望に応えるためだ。半導体需要が増えるなか、装置生産はこれからも右肩上がりで増える。工作機械メーカーは生産性を高め、 […]
日本トムソン 回転ステージの新製品
高精度、高剛性、低断面
日本トムソンはこのほど、回転ステージの新製品「SK…W」シリーズを発売した。高精度な「IKOクロスローラベアリング」を直接テーブルとすることで、低断面で、高精度な回転振れ、高剛性を実現。検査装置などの高精度のニーズが高い業界に提案する。
回転案内部には、高剛性なIKOクロスローラベアリングを組み込み、テーブル上面の振れ精度は5μm以内を実現。また、直接テーブルとすることで、30㎜（リミットセンサなし仕様）という低断面を可能にした。
装置のテーブルや検査対象品を直接取り付けることができる。このため、機構部品を使って、回転テーブルを設計する手間が省ける。
日本産機新聞 2021年8月20日
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