半導体製造現場向け

　ジェイテクトは厳しい環境下に耐えられるアルミナジルコニア複合材料を使用した特殊環境用軸受「コロガードプロベアリング—AZ」を開発し、耐食軸受として展開中の「コロガードプロベアリング」シリーズに新たにラインアップした。

　半導体製造装置の一部にはセラミック軸受が使用されているが、腐食ガス中や溶液がかかるため、材料の窒化ケイ素が腐食し、摩耗が促進し軸受が劣化してしまう。半導体製造現場は生産性向上の実現のためメンテナンス回数の削減が課題となっており、長寿命の軸受の開発が求められていた。

　同軸受はアルミナ‐ジルコニア複合材料を使用したことで、窒化ケイ素が使用できない酸性環境下での使用が可能になり、耐荷重は炭化ケイ素の1.2倍、耐食性は炭化ケイ素と同等で高寿命を実現。軸受交換周期を延ばすことで顧客のメンテナンスコストの削減に貢献する。

日本産機新聞　2021年3月5日